Die Micro-Serie wurde speziell für das Handling sehr kleiner Gasmengen entwickelt. Das Gerät steht jedoch den „Großen“ in nichts nach. Es erlaubt nicht nur Befüllen des Gasraums bis zum gewünschten Enddruck, das Evakuieren von Luft und Absaugen von SF₆ bis zu einem Endvakuum von ≤ 2 mbar, sondern auch die flüssige Speicherung von SF₆ in einem externen Druckbehälter.

Micro-Serie